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检索条件：作者=左华通
秦秀娟 , 韩司慧智 , 赵琳 , 左华通 , 宋士涛
无机材料学报 doi:10.3724/SP.J.1077.2011.00607
采用气溶胶辅助化学气相沉积(AACVD)法在玻璃衬底上制备了Al掺杂ZnO(AZO)薄膜. 研究了Al掺杂(2at%~8at%)对ZnO薄膜结构及光电性能的影响. 利用XRD、SEM、EDAX、紫外可见分光光度计等手段对样品进行测试. 结果表明, 制备的所有AZO薄膜均具有纤锌矿结构, 不具有沿c轴...
关键词: 气溶胶 , chemical vapour deposition , Al-doped ZnO , transparent conductive thin films
采用气溶胶辅助化学气相沉积(AACVD)法在玻璃衬底上制备了Al掺杂ZnO(AZO)薄膜.研究了Al掺杂(2at%～8at%)对ZnO薄膜结构及光电性能的影响.利用XRD、SEM、EDAX、紫外可见分光光度计等手段对样品进行测试.结果表明,制备的所有AZO薄膜均具有纤锌矿结构,不具有沿c轴方向的择优...
关键词: 气溶胶 , 化学气相沉积法 , Al:ZnO , 透明导电薄膜
