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检索条件:作者=巫文强  

  • 论文(1)

新型玻璃刻蚀用光刻胶的研制

巫文强 , 柯旭 , 黄晔 , 王跃川

应用化学 doi:10.3969/j.issn.1000-0518.2007.02.004

采用环氧树脂改性超支化聚酯制备了玻璃刻蚀用的光刻胶掩膜,研究了该感光树脂的感光活性、耐刻蚀性,以及加入HCl、HNO3后刻蚀对玻璃刻蚀的影响.结果表明,所得感光树脂对玻璃有较好的附着力,厚度为40~50 μm的胶膜在ω(HF)为40%的溶液中抗浮胶时间超过6 min,光刻胶初始曝光时间T0为2.7 ...

关键词: 玻璃刻蚀 , 光刻胶 , 掩膜 , 超支化聚酯