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Cu上石墨烯的化学气相沉积法生长研究

师小萍 , 于广辉 , 王斌 , 吴渊文

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2011.05.012

利用自行搭建的化学气相沉积(CVD)设备在Cu箔衬底上成功的制备出石墨烯薄膜,并利用光学显微镜和拉曼光谱分析等手段对石墨烯薄膜的形貌和结构进行了表征.主要研究了Cu箔的表面处理和沉积过程的气体流量对石墨烯质量的影响,发现氨水处理Cu箔可以腐蚀Cu箔表面的各种杂质提高Cu箔的洁净度从而提高石墨烯的结晶...

关键词: 石墨烯 , 化学气相沉积(CVD) , 表面处理 , 拉曼