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AlN薄膜制备及光学性能研究

席忠红 , 李海翼

低温物理学报

采用直流磁控溅射的方法，分别在Si（111）和玻璃基片上沉积A1N薄膜．利用X射线衍射仪、X射线能谱仪、台阶仪、原子力显微镜、分光光度计和傅里叶变换红外光谱仪等分析薄膜的结构、组分、膜厚、形貌和光学性能．实验得到的样品为多晶六方相AlN，膜厚为720nm，含有少量的氧杂质．对A1N薄膜的光学性能的研...

关键词: AlN薄膜 , 磁控溅射 , 光学性能 , 禁带宽度