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Ba0.8Sr0.2TiO3薄膜的溶胶-凝胶法制备及表征

李艳红 , 周科朝 , 庄后荣 , 张妍 , 张斗

中国有色金属学报

采用溶胶-凝胶法在Si和Pt/Ti/SiO2/Si衬底上制备钙钛矿结构的Ba0.8Sr0.2TiO3(BST)薄膜。对其前驱体干凝胶进行热重与差热(TG-DSC)分析，以此确定薄膜的热处理工艺。分别采用X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)和B1500A半导体器件分析...

关键词: Ba0.8Sr0.2TiO3(BST)薄膜 , 溶胶-凝胶法 , 介电性质