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成分对激光诱导自蔓延反应合成Ti-Fe合金组织性能影响

迟丽娜 , 王存山 , 庞宏杰 , 张凯舒

材料热处理学报 doi:10.3969/j.issn.1009-6264.2007.03.006

利用Ti-Fe合金体系组元间具有负的混合焓而能发生放热反应的热力学特征,进行了激光诱导自蔓延反应Ti-Fe合金的工艺研究.结果表明,当反应体系的化学成分由亚共晶向过共晶成分转变时,合成产物依次是由β-Ti固溶体+(β-Ti+TiFe)共晶、(β-Ti+TiFe)共晶、TiFe金属间化合物+(β-Ti+TiFe)共晶组织所构成.由于受反应合成不完全性的影响,以及原始粉末颗粒所吸附氧的存在,致使不同成分合成产物中皆出现了以氧稳定的Ti2Fe相.共晶合成样品因其精细的共晶组织构成和高的致密性,使其具有优异的硬度、强度和韧度.

关键词: 激光 , Ti-Fe合金 , 自蔓延反应 , 激光点火

PECVD法生长晶化硅薄膜的机理

白晓宇 , 郭群超 , 柳琴 , 庞宏杰 , 张滢清 , 李红波

材料科学与工程学报

硅薄膜在太阳电池中有非常重要的应用,薄膜的晶化对硅薄膜的性质和太阳电池效率都有很大影响,研究薄膜晶化理论具有重要意义.选择刻蚀模型认为H原子会轰击薄膜生长表面,打断吸附较弱的化学键,促使形成强的Si-Si键,使薄膜发生晶化.通过Monte Carlo法对具体的生长晶化过程进行了模拟计算,发现薄膜晶相的转变发生在生长温度350K(77℃)以上,并且在低温(T<550K)下,晶化的过程主要发生在氢稀释度90%以上.结果与实验数据在高氢稀释下基本吻合,低氢稀释下有偏差.认为低氢稀释下晶化反应所需中间产物产量少,模型中未被考虑的其他基团影响了它们的相对数量,造成模拟结果的偏差.模型对硅薄膜晶化过程的理论解释有一定的合理性.

关键词: 硅薄膜 , 晶化 , 选择刻蚀模型

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