吴中亮
,
马瑞新
,
艾琳
,
汪春平
,
孙鹏
,
张亚东
,
康勃
,
王目孔
材料导报
作为半导体用的铜靶材,其晶粒大小严重影响溅镀薄膜的品质,靶材晶粒的细化技术成为关键.依据转底炉法原理制备了一种片状铜,并对其晶粒尺寸的变化进行了研究,通过分析发现:坩埚底孔直径越小,底转盘转速越快,底转盘传热越好;在底转盘冷却效果好的情况下,下落点离底转盘的边缘越近,铜带的晶粒越小.
关键词:
转底炉法
,
铜带
,
晶粒尺寸
康勃
,
马瑞新
,
吴中亮
,
王目孔
,
林炜
表面技术
doi:10.3969/j.issn.1001-3660.2008.02.026
刀具涂层是一种机床工具行业的重要材料,其性能直接影响数控机床的机械加工精度.概述了刀具涂层材料的特点、要求及涂层制备技术的发展,分析了化学气相沉积法、物理气相沉积法、等离子体增强化学气相沉积法及溶胶-凝胶法等几种涂层制备方法的优缺点.结合国内外刀具涂层的研究现状及发展趋势,指出在大力发展化学气相沉积...
关键词:
刀具涂层
,
化学气相沉积
,
物理气相沉积
,
溶胶-凝胶
薛建设
,
林炜
,
马瑞新
,
康勃
,
吴中亮
液晶与显示
doi:10.3969/j.issn.1007-2780.2007.05.012
用射频磁控溅射法在玻璃衬底上氩气气氛中制备出(Al, Zr)共掺杂的ZnO透明导电薄膜,研究了不同Zr掺杂浓度和薄膜厚度ZnO薄膜的结构、电学和光学特性.结果表明,在最佳沉积条件下我们制备出了具有(002)单一择优取向的多晶六角纤锌矿结构,电阻率为2.2×10-2 Ω·cm,且可见光段(320～80...
关键词:
氧化锌
,
透明导电薄膜
,
电阻率
,
透光率
,
射频磁控溅射
