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康春磊 , 杨建中 , 田扬超 , 刘刚
功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2008.02.009
设计和制作了一种双轴微磁通门传感器.这种微型传感器为螺线管型,磁芯设计为矩形环状闭合结构,磁芯每条边上均绕有激励线圈和检测线圈,保证传感器能够同时检测X轴和Y轴两个方向上的弱磁场.采用了MEMS技术制作微型传感器,其中磁芯用电镀的方法获得,材料为Ni0.8Fe0.2坡莫合金,厚度51μm.制作出的微...
关键词: 磁通门 , MEMS , 电镀
杨建中 , 尤政 , 刘刚 , 康春磊 , 田扬超
功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2008.02.007
基于MEMS技术的微型磁通门式磁敏感器是磁场测量技术和微机电系统(MEMS)技术交叉研究领域的一个热点,在航空航天领域特别是在纳型/皮型卫星技术中有着重要的应用.本文介绍了该类磁敏感器所运用的磁通门效应的原理.从磁芯、线圈和整体结构布局等方面分析了现有的各种微型磁通门式磁敏感器的结构特征.并依据磁通...
关键词: 微机电系统(MEMS) , 磁通门 , 磁传感器 , 传感器设计
