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检索条件：作者=康晋峰
熊光成 , 连贵君 , 康晋峰 , 孙云锋
低温物理学报 doi:10.3969/j.issn.1000-3258.1999.04.001
影响直接外延生长氧化物薄膜的因素有很多,最主要的是保证氧化物薄膜的正确成相和在单晶衬底上成核.直接外延生长时,衬底温度影响到薄膜的成相.衬底温度还影响薄膜的生长动力学,并因此影响薄膜的外延生长取向.由于薄膜是首先在衬底表面成核、成相并生长的,因此衬底材料晶格的影响是不容忽视的.衬底材料(或异质外延材...
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