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双层铜金属薄膜纳米压痕机械性能的分子动力学模拟

廖明亮 , 翁盟雄 , 朱训鹏 , 江幸蓉

催化学报

多层金属薄膜的机械性质在纳米组件的设计上是非常重要的. 目前,纳米尺度材料的机械性质测量的最主要方法为纳米压痕检测技术. 本文应用分子动力学理论对双层铜金属薄膜界面的结构形态与特性进行分析探讨. 选用FCC结构单晶铜的(100)面,(110)面和双层铜金属薄膜作为探讨界面性质的材料,进而探讨了单晶铜及双层铜金属薄膜的纳米压痕变形性质.

关键词: 双层薄膜 , 铜 , 纳米压痕 , 分子动力学模拟