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温度对PLD法制备CIGS薄膜性能的影响

胡居广 , 林晓东 , 曹慧群 , 罗仲宽 , 李启文 , 张一倩 , 刁雄辉

稀有金属材料与工程

利用脉冲激光沉积(PLD)法在40～600℃范围内,以石英为基底制备了系列铜铟镓硒(CIGS)薄膜.利用分光光度计,XRD,SEM,EDS等对薄膜进行表征.结果表明,薄膜都以(112)择优取向生长,在40～400℃范围内,温度对薄膜结晶质量、晶粒尺寸等影响不明显；温度达到600℃时,结晶质量、晶粒尺...

关键词: CIGS薄膜 , 脉冲激光沉积 , 温度 , 扩散