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电沉积方式对制备氧化锌薄膜的影响

彭友舜 , 王晓娟 , 张丽茜 , 秦秀娟

电镀与精饰 doi:10.3969/j.issn.1001-3849.2015.09.002

利用恒电位与恒电流两种电沉积方式,在Zn(NO3)2水溶液中制备了ZnO薄膜,研究了沉积方式对氧化锌薄膜性能的影响.实验结果表明,电沉积的初始阶段即氧化锌种子层生成期,对沉积有很大影响;恒电流沉积的氧化锌种子层生成迅速且致密,制备的薄膜表面粗糙度小且透光率高;荧光光谱表明,采用不同沉积方式制备ZnO薄膜的内部缺陷不同.

关键词: 电化学沉积 , 氧化锌薄膜 , 恒电流 , 恒电位

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