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张佐兰
材料研究学报
本文介绍高精度控制Si 膜厚度的电化学腐蚀自停止新技术。讨论光照和电极欧姆接触等对腐蚀特性的影响,以及所得Si 膜的质量。
关键词: 电化学腐蚀 , etch-stop , membrane , sol material
张佐兰 , 郑茳 , 黄勤 , 陆祖宏 , 魏同立
本文报导在Si 衬底上拉制聚酰胺LB 膜的电容-电压特性,结果表明:它具有与其它绝缘膜相似的特性,为聚酰胺LB 膜应用于场效应器件奠定了基础。
关键词: LB膜 , C-V characteristics , insulator films
