欢迎登录材料期刊网
张勤 , 张俊凯 , 厉英
材料导报
磁控溅射金基合金镀膜材料以其特有的性能和特点,应用范围越来越广.作为源材料,金基合金靶材的质量对溅射工艺及镀膜性能起着至关重要的作用.主要介绍常用金基合金的种类;金基合金溅射靶材的制备方法及应用现状;高端金基合金溅射靶材制备的技术要求、存在的问题及未来的发展思路.
关键词: 金基合金 , 磁控溅射 , 靶材 , 技术要求
