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掺杂ZnO薄膜的研究现状

文军 , 陈长乐 , 潘峰 , 吴小丽 , 张修兴

材料导报

ZnO薄膜的性质取决于不同的掺杂元素和不同的制备工艺.概述了掺杂ZnO薄膜的研究现状,分析了不同掺杂组分对ZnO薄膜的p型转变特性、发光特性以及铁磁性质的影响,认为稀土掺杂可能使ZnO薄膜产生新的发光特性,共掺杂技术可能是实现ZnO薄膜特性改变的新途径.

关键词: ZnO薄膜 , P型掺杂 , 稀土掺杂 , 受激发光 , 稀磁半导体