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种子层诱导溶胶-凝胶法Li,Mg掺杂ZnO薄膜的结构及光电性能研究

张利静 , 方华靖 , 严清峰 , 沈光球 , 王晓青 , 沈德忠

人工晶体学报

本文以ZnO为种子层采用溶胶-凝胶法制备了Li、Mg掺杂的氧化锌薄膜.利用XRD、SEM、PL等手段对薄膜的结构、表面形貌和发光性能进行了表征,研究了不同掺杂情况、种子层、旋涂次数对Li、Mg掺杂的ZnO薄膜性能的影响.结果表明预铺种子层、旋涂8次、在580℃下退火的条件下制得的薄膜性能最好,通过L...

关键词: 氧化锌薄膜 , 溶胶-凝胶法 , 种子层 , 旋涂 , 光致发光