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类石墨氮化碳薄膜的电化学沉积

李超 , 曹传宝 , 朱鹤孙 , 吕强 , 张加涛 , 项顼

人工晶体学报 doi:10.3969/j.issn.1000-985X.2003.03.015

用1:1.5的三聚氯氰和三聚氰胺的饱和乙腈溶液为沉积液,在Si(100)衬底上室温常压下电化学沉积了CNx薄膜.用X射线光电子能谱(XPS)、傅立叶转换红外光谱(FTIR)、X射线衍射图谱(XRD)对沉积的CNx薄膜进行了测试和分析.XRD的衍射峰的结构数据与文献计算的类石墨相氮化碳的结构数据较为吻...

关键词: 电化学沉积 , 氮化碳 , CNx薄膜 , g-C3N4

CNx薄膜的制备和光电性能

张加涛 , 曹传宝 , 朱鹤孙

材料研究学报 doi:10.3321/j.issn:1005-3093.2003.04.016

以单晶硅片(100)和镀Pt硅片为衬底,用电化学沉积方法在阴极制备出CNx薄膜(x接近于1),薄膜的表面平滑,颗粒均匀.热处理后得到了β-C3N4和α-C3N4多晶结构薄膜.热处理温度的提高使薄膜中的C≡N键逐渐减少而消失,氮元素的流失使薄膜中非晶碳的成分增多,但是薄膜中碳氮逐渐以sp3C-N为主....

关键词: 无机非金属材料 , CNx薄膜 , 电化学沉积 , 光电性能

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