王梦
,
张发生
,
刘根华
,
于军
人工晶体学报
采用磁控溅射法在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上制备了(Ba,Sr)TiO3薄膜.基于薄膜的形核理论,研究了溅射气压、靶基距、衬底温度和溅射功率等溅射参数对(Ba,Sr) TiO3薄膜择优取向生长的影响.实验结果表明:磁控溅射中,较高衬底温度(600℃)有助于钙钛矿成相；通过改变磁控溅射参数,能得到...
关键词:
BST
,
择优取向
,
磁控溅射
,
形核
张发生
,
戴韧
工程热物理学报
本文在平面叶栅风洞上实验测量了设计工况下，具有压力面及吸力面单排离散气膜孔射流的导向叶栅卜游流场，对比研究不同射流比时叶型损失的变化。实验中主流与射流采用相同的工质。结果表明：压力面射流及吸力面射流时，平均总压损失随射流比的增加均表现出先减小后增大的变化趋势，但是损失增大或减小的数值不同，吸力面射流...
关键词:
平面叶栅
,
气膜射流
,
损失系数
,
叶片尾迹
