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磁控溅射法制备Cu2ZnSnS4薄膜及其性能表征

华中 , 孟祥成 , 孙亚明 , 于万秋 , 龙东 , 张守琪

材料热处理学报

利用磁控溅射法将Cu/Sn/ZnS前驱体沉积在钙钠玻璃基片上,再通过硫化该前驱体制备Cu2ZnSnS4薄膜.利用X射线衍射仪、拉曼光谱仪、扫描电子显微镜、能谱仪、霍尔效应测量系统和紫外可见分光光度计研究了Cu2ZnSnS4薄膜的微观结构、表面形貌、化学成分、电学和光学性能.结果表明,CZTS薄膜的微...

关键词: Cu2ZnSnS4 , 磁控溅射 , 硫化 , 薄膜