刘耀
,
陈曦
,
张小祥
,
刘晓伟
,
李梁梁
,
丁向前
,
郭总杰
,
袁剑峰
液晶与显示
doi:10.3788/YJYXS20153005.0784
最终关键尺寸是评价薄膜晶体管液晶显示器产品性能的一项重要参数。本文研究了在光源照度变化的条件下得到准确的最终关键尺寸的方法。通过大量的实验测试、数据分析,并配合扫描电子显微镜(SEM)图片,确定最终关键尺寸合适的测试条件和方法。基于上述分析,选取测量值稳定的光照强度区间中心点的光照强度作为标准样品参...
关键词:
最终关键尺寸
,
测试方法
,
扫描电子显微镜
,
补偿值
张小祥
,
颉芳霞
,
刘正
,
郭总杰
,
袁剑峰
,
邵喜斌
液晶与显示
doi:10.3788/YJYXS20153003.0387
通过对TFT-LCD 制造过程中GOA单元不良原因的研究,提出了改善 GOA单元不良的方法.分析表明静电放电(ESD)的发生在于电容瞬间释放的电流过大,导致过细的金属线熔化;沟道桥接和开裂的发生在于显影效应,显影方向以及图案密度,导致局部区域沟道光刻胶厚度偏厚和偏薄.采用静电分散释放的连线设计,ES...
关键词:
GOA
,
静电放电
,
沟道桥接
,
沟道开裂
,
显影效应