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检索条件：作者=张庆全
丁士进 , 张庆全 , 张卫 , 王季陶
无机材料学报
以正硅酸乙酯（ＴＥＯＳ）和八氟环丁烷（Ｃ４Ｆ８）为原料，采用等离子体增强化学气相淀积（ＰＥＣＶＤ）方法制备了氟碳掺杂的氧化硅薄膜（ＳｉＣＯＦ）．样品的Ｘ射线光电子能谱（ＸＰＳ）和傅立叶变换红外光谱（ＦＴＩＲ）分析表明薄膜中含有Ｓｉ－Ｆ、Ｓｉ－Ｏ、Ｃ－Ｆ、Ｃ－ＣＦｘ
关键词: 等离子体增强化学气相淀积 , SiCOF film , XPS , FTIR , refractive index
无机材料学报 doi:10.3321/j.issn:1000-324X.2001.06.022
以正硅酸乙酯(TEOS)和八氟环丁烷(C4Fs)为原料,采用等离子体增强化学气相淀积(PECVD)方法制备了氟碳掺杂的氧化硅薄膜(SiCOF).样品的X射线光电子能谱(XPS)和傅立叶变换红外光谱(FTIR)分析表明薄膜中含有Si-F、Si-O、C-F、C-CFx、CF2等构型.刚淀积的薄膜的折射率...
关键词: 等离子体增强化学气相淀积 , 氟碳掺杂的氧化硅薄膜 , X射线光电子能谱 , 傅立叶变换红外光谱 , 折射率
