薛晨阳
,
陈尚
,
张文栋
,
刘俊
,
张斌珍
,
李丽华
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2008.01.019
根据介观压阻效应原理以及柱体声学理论,提出了一种基于量子阱薄膜的纳机电矢量水听器,期望利用量子阱薄膜材料的高灵敏度压阻效应以及水听器精巧的微结构,提高矢量水听器的灵敏度,实现水听器的低频特性及结构微小型化.首先概括地描述了介观压阻效应原理以及柱体声学理论;完成了水听器的结构设计;采用GaAs基微机械...
关键词:
矢量水听器
,
量子阱薄膜
,
纳机电
,
指向性
仝召民
,
薛晨阳
,
张斌珍
,
刘俊
,
乔慧
,
郭慧芳
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2008.01.006
本工作设计了一种基于AlAs/InGaAs/GaAs量子隧穿效应的纳机电拍子式声传感器,并采用ANSYS有限元分析软件对敏感元件的布置位置进行了最优化仿真设计.在加工工艺上,采用双空气桥技术和Au/Ge/Ni合金膜系欧姆接触技术有效降低了电容、电阻等对器件结构性能的影响;在传感器的具体加工过程中,共...
关键词:
AlAs/InGaAs/GaAs
,
拍子
,
声传感器
,
共振隧穿结构