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电化学机械复合光整加工技术的研究现状

张志金 , 张明岐 , 曹新鹏 , 程小元

材料导报

介绍了电化学机械复合光整加工技术的原理、特点以及加工过程中的影响因素.综述了电化学机械复合光整加工技术的国内外研究现状,指出了目前我国电化学机械复合光整加工技术存在的问题,并探讨了电化学机械复合光整加工技术的发展趋势.

关键词: 电化学机械复合光整加工 , 复合加工 , 电化学

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