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ZnO:Cd纳米棒薄膜的制备及其光学氢敏性质研究

陈露 , 杨晓红 , 张李

功能材料 doi:10.3969/j.issn.1001-9731.2017.05.023

采用磁控溅射法在透明玻璃基底上制备50 nm厚的ZnO种子层,利用水热法在ZnO种子层上生长厚度大约为1 000 nm左右的ZnO:Cd纳米棒薄膜,通过SEM,XRD对其形态和晶体结构进行分析.结果表明:该薄膜是由沿C轴方向生长,呈六角纤锌矿结构的ZnO:Cd纳米棒阵列组成,并研究了薄膜型光学气敏传...

关键词: ZnO , Cd , 纳米棒 , 薄膜 , 光学氢敏传感器