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SO1-Gel法硅基PZT铁电薄膜研究

张林涛 , 任天令 , 张武全 , 刘理天 , 李志坚

功能材料

介绍了以硝酸锆、醋酸铅和钛酸四丁酯为原料用溶胶-凝胶(sol-gel)方法在硅衬底上制备Pb(Zr0.53Ti0.47)O3(PZT)铁电薄膜的工艺流程.对铁电薄膜的表面形貌、晶化程度、界面状态等性质进行了分析,结果表明硅基PZT薄膜形成了良好的钙钛矿结构.并在此基础上实现了制备PZT铁电薄膜的低温改进工艺.

关键词: sol-gel法 , PZT , 铁电薄膜