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薄膜热导率测量方法研究进展

张武康 , 陈小源 , 李东栋 , 方小红

功能材料 doi:10.3969/j.issn.1001-9731.2017.06.007

薄膜材料对微纳器件制造不可或缺,而其热导率直接限制微纳器件的散热性能,从而影响器件的可靠性.因此,研究薄膜热物理性质对于半导体器件的制造以及集成电路的设计极为重要.为此,对薄膜材料热导率测量方法进行了综述,并在分析薄膜微结构模型的基础上,对热导率测量方法进行了可行性分析,从而为薄膜材料热性能测量提供技术参考.

关键词: 薄膜 , 热导率 , 测量方法