李进
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张洪岩
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高忙忙
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周锐
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薛子文
,
梁森
,
李国龙
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李海波
,
何力军
人工晶体学报
大直径化是太阳能光伏用单晶硅发展的趋势之一.由于炉体结构的增大,炉内气体流场的变化对晶硅生长过程产生了一定的影响.本文采用CGSim晶体生长软件,系统分析了氩气进口流速对固液界面,热应力和晶体氧含量的影响.结果表明,随氩气流速的增加,固液界面高度逐渐下降,当氩气流速为中等范围时,固液界面波动最低,有...
关键词:
单晶硅
,
氩气流场
,
固液界面
,
氧含量
李进
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杨翠
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高忙忙
,
庞骏敏
,
周锐
,
张洪岩
硅酸盐通报
获得高品质、低成本的直拉单晶硅是太阳能发电技术大面积推广应用的关键基础之一.本文采用有限元ANSYS软件模拟直拉单晶硅中液口距(导流筒下沿与液面距离,DSM)和器盖距(导流筒伸入加热器的距离,DSH)对单晶炉内气体流场和热场分布的影响.结果表明,随液口距的减小,气流对熔体液面上方的吹拂能力逐渐加强,...
关键词:
CZ单晶硅
,
氧含量
,
气体流场
,
温度梯度
