黄曼
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张济
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王启钧
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赵凯
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张罡
材料保护
目前,对TiAlSiN薄膜在800℃以上的抗高温氧化性研究较少.通过磁控溅射优化工艺在W18Cr4V高速钢基体上制备不同Si含量的TiAlSiN硬质薄膜,针对硬度最高的典型薄膜试样[Si含量为16.49％(原子分数)],分别在800℃和1 000℃下进行保温1h的大气热处理.利用SEM、EDS、XR...
关键词:
磁控溅射
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TiAlSiN
,
W18Cr4V高速钢
,
大气热处理
,
抗高温氧化性
张罡
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尹雪
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张济
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杜晓明
,
娄长胜
材料热处理学报
采用磁控溅射技术,在高速钢基材上沉积了不同Y含量的CrAlYN涂层,进行了900℃下lh高温氧化试验.通过SEM、EDS、XRD和纳米压痕仪等对涂层元素组成、纳米硬度、弹性模量以及热处理前后的表面形貌和物相组成进行了表征.研究了Y含量对CrAlYN涂层硬度,弹性模量、物相组成和高温抗氧化性能的影响....
关键词:
磁控溅射
,
CrAlYN涂层
,
抗氧化性能
,
纳米硬度
,
弹性模量
