张爱芳
,
杜丕一
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胡岳华
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翁文剑
,
韩高荣
无机材料学报
采用溶胶-凝胶法,以Ti(OC4H9)4为前驱体,用提拉法在硅基板上制备了掺Fe的TiO2氧敏薄膜,对薄膜物相结构进行了X射线衍射(XRD)测定,利用扫描电镜(SEM)对薄膜微结构进行了观察.结果表明:在硅基板上...
关键词:
溶胶-凝胶
,
TiO2 oxygen sensitive thin film
,
Fe doping
,
silicon substrate
张爱芳
,
杜丕一
,
胡岳华
,
翁文剑
,
韩高荣
无机材料学报
doi:10.3321/j.issn:1000-324X.2005.06.032
采用溶胶-凝胶法,以Ti(OC4H9)4为前驱体,用提拉法在硅基板上制备了掺Fe的TiO2氧敏薄膜,对薄膜物相结构进行了X射线衍射(XRD)测定,利用扫描电镜(SEM)对薄膜微结构进行了观察.结果表明:在硅基板上生长的TiO2薄膜中锐钛矿相为均匀小晶粒分布结构,金红石相以大尺度团聚结构形貌出现.Fe...
关键词:
溶胶-凝胶
,
Fe离子掺杂
,
TiO2氧敏薄膜
,
硅基板
