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磁控溅射法制备纳米晶钛薄膜工艺研究

张番 , 刘芳 , 陈爱英 , 刘颍龙

材料导报

利用直流磁控溅射法在硅基底上沉积出纳米晶钛薄膜,研究了背底真空度、溅射功率和基底温度对纳米晶钛薄膜结构的影响.实验证明,当背底真空度高于8.8×10-5 Pa时,可制备出致密的纳米晶钛薄膜,当背底真空度低于2.0×10-4 Pa时,钛薄膜被氧化成一氧化钛薄膜；随着溅射功率的增大,纳米晶钛膜的晶粒尺寸...

关键词: 磁控溅射 , 纳米晶钛 , 薄膜 , 织构