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磁控溅射Pd膜对Zr70Fe5.4V24.6合金吸/放氢性能的影响

张眯 , 胡锐 , 张铁邦 , 张云龙 , 薛祥义 , 寇宏超 , 李金山

稀有金属材料与工程

采用磁控溅射技术在Zr70Fe5.4V24.6(质量分数,％,下同)合金基体上沉积Pd膜.研究磁控溅射沉积Pd膜的生长特性和显微组织及Pd膜对Zr70Fe5.4V24.6合金吸/放氢性能的影响规律.结果发现,在Zr70Fe5.4V24.6合金基体上磁控溅射沉积的Pd膜具有fcc结构并在(111)晶面...

关键词: 储氢合金 , 磁控溅射 , Pd膜 , 吸氢动力学 , 吸氢量