张竹林
,
张莱
稀有金属材料与工程
基于多元素靶溅射的Andersen-Sigmund关系式,在分析了大量的二、三元素合金溅射稳定态靶表面化学成分的变化之后,发现各元素之间表面结合能之比几乎与靶体化学成分无关.只要给各元素之间设定适当的表面结合能比,就可以很容易地计算出三元合金靶稳定态表面化学成分,至少对于用2keV氩离子轰击的Ag-Pd-Au三元合金靶系来说,其计算结果都与实验值一致.所分析的实验数据是在常温下取得的,所以可不考虑离子轰击诱发的Gibbs偏析,其结论很可能是多元合金靶溅射的一般规律.此外,由Galdikas等最近所提出的所谓择优溅射中的"基体效应"理论是无实验依据的.
关键词:
择优溅射
,
表面结合能
,
Andersen-Sigmund关系式
张竹林
稀有金属材料与工程
用一种推广的幂指数散射截面求解了溅射输运方程, 获得更加一般的渐近解.这个渐近解不但以Urbassek等人几年前所给出的两个解为其特殊情况, 而且还为作者提出的SC解提供了新的证据. 此外通过计算并分析了Vicanek等人发表的新的输运理论, 发现他们所提出的转换理论结果与Monte Carlo模拟结果一致是不正确的.
关键词:
幂指数散射截面
,
碰撞级联
,
粒子通量
