材料期刊网

磁控溅射技术室温生长氢化ZnO∶Ga薄膜及其特性研究

王斐 , 陈新亮 , 张翅 , 张德坤 , 魏长春 , 黄茜 , 张晓丹 , 赵颖 , 耿新华

人工晶体学报

采用直流脉冲磁控溅射方法,在室温下生长氢化Ga掺杂ZnO薄膜(GZO/H),并通过湿法后腐蚀技术获得绒面结构.研究了室温下H2流量对薄膜结构、光电性能及表面形貌的影响.实验表明,氢化GZO(GZO/H)薄膜具有良好的(002)晶面择优取向生长,引入适当流量的H2可以有效提高薄膜的电学特性,GZO/H...

关键词: 脉冲磁控溅射 , 氧化锌 , 镓掺杂 , H2流量 , 绒面结构