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氯化铯纳米岛生长技术

罗亮 , 伊福廷 , 张菊芳

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2008.01.042

氯化铯纳米岛光刻技术是一种分子自组装光刻技术,该技术利用氯化铯在一定湿度下的自组装特性来形成具有一定尺寸和分布的原始氯化铯纳米岛结构,通过调整工艺条件可以适度控制氯化铯岛结构的尺寸和覆盖率.氯化铯岛结构的尺寸和覆盖率主要取决于氯化铯薄膜厚度、显影时间和相对湿度,其中膜厚的影响最大.通常在其他条件不变...

关键词: 纳米岛 , 自组装技术 , NEMS , 纳米加工技术