彭巨擘
,
张鹏翔
,
陈大鹏
,
张虞澜
,
朱绍将
,
王茺
材料科学与工程学报
doi:10.3969/j.issn.1673-2812.2003.05.028
研究了PLD系统中用硅板做衬底加热器时影响衬底温度的几个因素.通过使用校准了的红外测温仪做温度检测元件,发现:1.硅板上各部分的温度不是均匀分布的;2.衬底放在硅板上时,衬底温度和硅板温度有很大的不同;3.在相同的硅板加热电流下,硅板温度随硅板环境的真空度不同而变化.不细致考虑上述因素时,脉冲激光沉积(PLD)镀膜的质量很难保证.
关键词:
PLD
,
硅板加热器
,
衬底
,
真空度
