陈垚
,
张轩雄
金属学报
结合Ｓｉ体微机械技术和电镀技术加工出Ｆｅ－Ｎｉ／Ｃｕ／Ｓｉ复合悬臂梁, 其中Ｆｅ－Ｎｉ膜厚３μｍ, Ｃｕ膜厚０．２μｍ, 利用共振法首次测出在１．３Ｐａ气压下, 复合悬臂梁中Ｆｅ－Ｎｉ（Ｆｅ６４, Ｎｉ３６, 质量分数％）电镀沉积膜的内耗为１０＾－３, 利用自行设计的微力／微位 天平法, 测出Ｆｅ－Ｎｉ（Ｆｅ５７, Ｎｉ４３）／Ｃｕ／Ｓｉ复合悬臂梁的Ｙｏｕｎｇ‘ｓ模量为１．９×１０＾１１Ｎ／ｍ＾２.
关键词:
微机械
,
null
陈垚
,
张轩雄
,
熊幸果
,
王渭源
金属学报
doi:10.3321/j.issn:0412-1961.2000.05.016
结合Si体微机械技术和电镀技术加工出Fe-Ni/Cu/Si复合悬臂梁,其中Fe-Ni膜厚3 μm,Cu膜厚0.2 μm.利用共振法首次测出在1.3 Pa气压下,复合悬臂梁中Fe-Ni(Fe 64,Ni 36,质量分数,%,下同)电镀沉积膜的内耗为10-3.利用自行设计的微力/微位移天平法,测出Fe-Ni(Fe 57,Ni 43)/Cu/Si复合悬臂梁的Young's模量为1.0×1011N/m2.Fe-Ni电镀沉积膜的内应力随膜中Fe含量的增加先是增大然后减小.在Invar合金(Fe 64,Ni 36)成分附近达到最大约300 MPa.Fe-Ni电镀膜的热膨胀系数与膜中Fe含量关系则与内应力相反,但与合金体材料变化趋势一致,在Invar合金成分附近达到最小,其值高于相应成分的合金体材料,约6×10-6/℃.
关键词:
微机械
,
Fe-Ni合金电镀沉积膜
,
内应力
,
热膨胀系数
,
Young's模量
,
内耗
