张金钰
,
牛佳佳
,
张欣
,
雷诗莹
,
张鹏
,
刘刚
,
孙军
中国有色金属学报
采用磁控溅射方法分别在聚酰亚胺基体以及单晶硅基体上制备恒定调制比(η)以及恒定调制周期(λ)的Cu-Cr纳米金属多层膜;通过单轴拉伸试验以及纳米压痕试验系统研究Cu-Cr多层膜屈服强度及硬度的尺度依赖性.微观分析结果表明:基体对多层膜的微观结构无影响,Cu-Cr多层膜在生长方向上均呈现Kurdium...
关键词:
纳米金属多层膜
,
强度
,
硬度
,
调制周期
,
调制比
孙军
,
张金钰
,
吴凯
,
刘刚
金属学报
doi:10.11900/0412.1961.2016.00315
纳米金属多层膜材料已成为目前高性能微元器件以及互连结构的核心材料体系, 其服役过程中的变形损伤与断裂是导致系统失效的关键因素. 以本课题组近年来的研究结果为基础, 结合当前国内外有关金属多层膜微柱体塑性变形行为研究的最新进展, 阐述了金属多层膜微柱体微观结构-尺寸约束-服役性能三者之间的关联性, 揭...
关键词:
纳米金属多层膜
,
微柱体
,
塑性变形
,
形变损伤
,
尺寸效应
张金钰
,
赵义
,
刘刚
,
张敬
,
孙军
材料研究学报
原位观察交变电流作用下纳米晶铜互连线的表面损伤形貌演化过程,重点研究了交变热-机械载荷作用下硅基铜互连线的电致热疲劳性能.结果表明,铜互连线电致热疲劳寿命随着电流密度的增加而减小;载流铜互连线表现出新的变形方式,具有独特的电致热疲劳行为特征.在低电流密度(j<10 MA/cm2)条件下,在电致...
关键词:
金属材料
,
交变电流
,
纳米晶铜膜
,
尺寸效应
,
疲劳行为
张金钰
,
张欣
,
牛佳佳
,
刘刚
,
张国君
,
孙军
金属学报
doi:10.3724/SP.J.1037.2011.00246
利用纳米压痕实验以及四探针法,系统研究了相同层厚Cu/X(X=Cr,Nb)纳米金属多层膜的力学性能(强/硬度)和电学性能(电阻率)的尺度依赖性.微观分析表明:Cu/X多层膜调制结构清晰,Cu层沿{111}面择优生长,X层沿{110}面择优生长.纳米压入结果表明,Cu/X多层膜的强度依赖于调制周期,并...
关键词:
Cu/Cr
,
Cu/Nb
,
纳米多层膜
,
强度
,
电阻率
,
尺寸效应
张欣
,
张金钰
,
刘刚
,
张国君
,
孙军
金属学报
doi:10.3724/SP.J.1037.2010.00405
通过单轴拉伸实验并结合原位电阻测量法系统研究了恒定调制比下调制波长(λ=10-250 nm)对聚酰亚胺基体上Cu/Nb纳米金属多层膜延性和断裂韧性的影响.微观分析表明,Cu/Nb的调制结构清晰,不存在明显的互混现象.实验结果表明,随着调制波长的减小,多层膜的延性和断裂韧性均呈现非单调演变趋势,在调制...
关键词:
纳米多层膜
,
调制波长
,
延性
,
断裂韧性
孙军
,
张金钰
,
吴凯
,
刘刚
金属学报
doi:10.11900/0412.1961.2016.00315
纳米金属多层膜材料已成为目前高性能微元器件以及互连结构的核心材料体系,其服役过程中的变形损伤与断裂是导致系统失效的关键因素.以本课题组近年来的研究结果为基础,结合当前国内外有关金属多层膜微柱体塑性变形行为研究的最新进展,阐述了金属多层膜微柱体微观结构-尺寸约束-服役性能三者之间的关联性,揭示了金属多...
关键词:
纳米金属多层膜
,
微柱体
,
塑性变形
,
形变损伤
,
尺寸效应
