张露石南林宫骏裴志亮高立军孙超
金属学报
doi:10.3724/SP.J.1037.2010.00714
利用反应磁控溅射法在SiC长纤维表面沉积了(Al+Al2O3)扩散阻挡涂层, 研究了沉积工艺参数对涂层的成分、沉积速率的影响, 以及涂层对SiC纤维的表面残余应力及力学性能的影响. 结果表明, 随着溅射功率的增加, Al2O3涂层的沉积速率先迅速增加后缓慢增加; 随着工作气压的增加, Al2O3涂层的沉积速率先缓慢降低, 在工作气压到达一定值时, 沉积速率快速下降随后缓慢下降. 沉积的(Al+Al2O3)复合涂层保护了SiC纤维的富C层, 起到了保证纤维与Al2O3涂层之间结合力的作用; 激光Raman谱显示改性后纤维的表面残余应力有降低趋势. 室温和高温处理后复合丝的拉伸强度分别是计算值的97.69%和98.77%, 涂层对纤维的力学性能影响很小.
关键词:
SiC纤维
,
reactive magnetron sputtering
,
diffusion barrier layer
,
composite coating
,
residual stress
