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湿化学工艺SrNbxTi1-xO3导电薄膜的制备及性能

王晓娟 , 殷明志 , 林鸿鹏 , 张鹤飞

材料导报

采用湿化学工艺在硅衬底上成功地制备了结构致密、均匀且无龟裂的SrNbxTi1-xO3薄膜.金属盐的冰醋酸溶液经回流再加入乙酸酐除去无机阴离子和结晶水,形成的金属醋酸盐与适当的络合剂形成的多配体络合物经部分水解生成的羟基化合物M(OH)n-x(L)x(L=C4H6O6或AcAc,M=Sr或Ti或Nb)...

关键词: 溶胶-凝胶工艺 , SrNbxTi1-xO3薄膜 , 电学性能