张龙龙
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周炳卿
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张林睿
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高玉伟
硅酸盐通报
采用等离子体增强化学气相沉积法(PECVD)以SiH4和N2为反应气体,分别在射频功率、硅烷稀释度[SiH4/N2]、衬底温度为变量的情况下制备了富硅氮化硅薄膜材料,利用X射线衍射谱(XRD)、傅里叶变换红外谱(FTIR)、紫外-可见光吸收谱(UV-Vis)对薄膜材料进行了表征,并研究了薄膜材料的微结构和晶化状况、光学特性等.实验结果表明,所沉积薄膜都为富硅的非晶氮化硅材料,改变射频功率、硅烷稀释度和衬底温度可以控制氮化硅薄膜中N元素的含量、光学带隙的大小和薄膜的折射率,并制备出最适宜富硅氮化硅薄膜,为进一步退火析出硅量子点奠定了基础.
关键词:
PECVD
,
富硅氮化硅薄膜
,
非晶结构
,
光学带隙
汤卫华
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张琪
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张龙龙
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林碧亮
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李军
,
吴文宏
膜科学与技术
采用3种不同结构的中空纤维膜组件用于低压高湿空气除湿,研究了进气压力、进气流量和吹扫气量对这3种不同结构膜组件除湿性能的影响.结果表明,具有吹扫气分配结构的膜组件具有更好的除湿性能,提高进气压力、减小进气量、提高吹扫气量都有利于提高膜组件的除湿性能.在0.03 MPa进气压力、5 m3/h进气流量和30％吹扫比条件下,具有吹扫气分配结构的膜组件可将湿度为95％的湿空气除湿到43.5％.
关键词:
中空纤维膜
,
低压
,
空气
,
除湿
,
结构
