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热源并联式全透气碳化硅合成炉的模拟分析

徐保海 , 王晓刚 , 李阳 , 吴泽民 , 任小雷 , 段晓波

硅酸盐通报

介绍了自主研发设计的新型碳化硅合成炉合成原理.研究了炉内温度场,压力场的变化规律,模拟结果和实验结果与传统单热源进行对比.研究表明,热源并联式全透气碳化硅合成炉可以有效增加合成反应区域,炉内压力维持在0.101~0.113 MPa之间,所产生的CO气体能从排气装置顺利排出,炉内气体最大流速不超过0.6 m/s,从而有效防止喷炉事故和有毒气体对人员危害,合成产品的致密性明显提高.

关键词: 热源并联 , 全透气 , 碳化硅 , 数值模拟

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