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氯硅烷残液水解制备二氧化硅团聚的机理研究

黄兵 , 董森林 , 陈樑 , 杨杰 , 赵义 , 徐卜刚 , 蔡吉祥

人工晶体学报

多晶硅生成工艺中的副产物氯硅烷残液,具有腐蚀性强、产量大等特点.采用多晶硅副产物氯硅烷残液为原料进行水解反应生成二氧化硅.研究了以不同水解方式在不同水解体系中引入位阻剂及该位阻剂的时效性对二氧化硅团聚的影响以及机理研究.结果表明:气-液反应的水解方式产出的二氧化硅呈现颗粒状具有颗粒特性;水解体系中引...

关键词: 氯硅烷残液 , 二氧化硅 , 位阻剂 , 团聚 , 机理