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多弧离子镀用于制备高质量的Ti-N膜

徐新乐

材料保护 doi:10.3969/j.issn.1001-1560.2000.08.015

研究了多弧离子镀制备Ti-N膜的重要工艺参数(磁场、弧电流、偏压和氮气流量)对膜层质量的影响,详细分析了它们影响膜层特性的原因。实验证明,提高弧电流的同时抑制液滴的产生,是提高膜层质量和生产效率的有效途径。

关键词: 膜层 , 多弧离子镀 , Ti-N膜 , 硬度

黑色氮钛膜的制备与性能

徐新乐

材料保护 doi:10.3969/j.issn.1001-1560.2002.07.015

介绍了利用多弧离子镀工艺制备黑色氮钛膜,并对其耐磨损、耐腐蚀、热稳定性及太阳光谱吸收等性能进行了研究.结果表明,其耐磨损、耐腐蚀性能均高于氧化和磷化黑色膜层.

关键词: 离子镀 , , 黑色

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