张旭海
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巫亮
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曾宇乔
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李凡
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徐笑
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李想
,
武小冕
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蒋建清
功能材料
doi:10.3969/j.issn.1001-9731.2013.13.021
为研究高温下掺入Ag的CrN涂层的组织性能,在沉积温度为800℃的条件下采用直流反应磁控溅射技术制备CrN/Ag硬质涂层.采用扫描电镜(SEM)、EDS能谱仪、X射线衍射(XRD)和维氏硬度计,综合分析了800℃沉积温度下,对不同Ag掺杂情况下CrN/Ag涂层的组织结构和性能特点,以及700℃热处理工艺对其的影响.结果表明,Ag添加导致CrN晶相生长由(200)择优取向向无择优取向转变,并使得CrN/Ag涂层表面粗糙化;少量Ag(7％(原子分数))添加可提高涂层硬度,过多Ag(21％(原子分数))添加明显降低涂层硬度;高温热处理(700℃/1h)后,纯CrN涂层的氧化并不明显,但是,随Ag含量增加,涂层氧化程度逐渐增加,且在高Ag(21％(原子分数))涂层中Ag溢出现象显著;涂层氧化及Ag溢出导致涂层硬度显著降低.
关键词:
CrN/Ag涂层
,
磁控溅射
,
热处理
,
氧化
,
硬度
,
Ag溢出
