张旭海
,
巫亮
,
曾宇乔
,
李凡
,
徐笑
,
李想
,
武小冕
,
蒋建清
功能材料
doi:10.3969/j.issn.1001-9731.2013.13.021
为研究高温下掺入Ag的CrN涂层的组织性能,在沉积温度为800℃的条件下采用直流反应磁控溅射技术制备CrN/Ag硬质涂层.采用扫描电镜(SEM)、EDS能谱仪、X射线衍射(XRD)和维氏硬度计,综合分析了800℃沉积温度下,对不同Ag掺杂情况下CrN/Ag涂层的组织结构和性能特点,以及700℃热处理...
关键词:
CrN/Ag涂层
,
磁控溅射
,
热处理
,
氧化
,
硬度
,
Ag溢出