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双坩埚LEC法砷化镓熔体流动与传热传质数值模拟

王正乾 , 李明伟 , 徐赟瑜 , 王晓丁

材料科学与工程学报

采用低雷诺数/κ-ε湍流模型,模拟了双坩埚LEC法砷化镓熔体的流动与传热传质.分析了不同晶体转速、内坩埚转速、外坩埚转速条件下的熔体流动与传热,获得了考虑溶质分凝效应后的Si掺杂在砷化镓熔体中的分布.结果表明:随着晶体转速的增大,生长界面附近等温线更加平直且等温线密度增大;随着内坩埚转速的增大,生长...

关键词: 液封提拉法 , 质量浓度 , 数值模拟 , 双坩埚