黎午升
,
惠官宝
,
崔承镇
,
史大为
,
郭建
,
孙双
,
薛建设
液晶与显示
doi:10.3788/YJYXS20142904.0544
实现高PPI(单位面积像素个数),需要更细的线宽和更窄的间距,这往往受到光刻设备解像力的限制,本文对基于不改造镜像投影曝光设备而提高光刻解像力进行研究.用半导体工艺模拟以及器件模拟软件模拟分析了离焦量为0时,相位移掩膜和传统掩膜下2.5 μm等间隔线的光强分布.根据设备参数模拟分析离焦量为15、30...
关键词:
相移掩膜
,
等间隔线
,
模拟
,
曝光容限
,
解像力
张锋
,
薛建设
,
喻志农
,
周伟峰
,
惠官宝
液晶与显示
doi:10.3788/YJYXS20122702.0163
介绍了量子点材料的发光原理、基本结构,以及量子点LED的特性、制备方法以及其在显示领域的最新进展.量子点LED由于具有发光纯度高、使用寿命长、可由溶液法制备等独特的优点,越来越受到人们 的重视,成为显示领域新的研究热点.
关键词:
量子点
,
发光二极管
,
显示器件
,
色域
