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童欣欣 , 徐劼 , 戈涛 , 陈沁 , 胡博华
电镀与精饰 doi:10.3969/j.issn.1001-3849.2014.10.005
现代电子产品制造工艺中,使用高浓度三氯化铁蚀刻液,失效蚀刻液会造成环境污染和资源浪费.介绍了三氯化铁蚀刻废液的产生及特点,综述了三氯化铁蚀刻废液再生利用技术的研究进展,分析了不同再生方法的优缺点,并对三氯化铁蚀刻废液再生处理技术的发展趋势进行了展望和建议.
关键词: 三氯化铁蚀刻废液 , 再生利用 , 置换 , 结晶 , 萃取 , 膜电解
