汪红
,
姚锦元
,
戴旭涵
,
王志民
,
朱军
,
赵小林
电镀与涂饰
doi:10.3969/j.issn.1004-227X.2007.08.002
采用UV-LIGA技术和Ni-W/Ni叠层电镀方法,在微喷嘴模具上制备出低应力Ni-W沉积层.研究了热处理条件对低应力Ni-W电沉积层硬度的影响.考察了沉积态及热处理态的Ni-W层、Ni层的耐磨性.结果发现,热处理后Ni-W/Ni叠层微模具界面结合良好,在干摩擦条件下,经过热处理的Ni-W层的耐磨性是Ni层的6倍;在550 ℃、2 h真空热处理条件下,Ni-W电沉积层应力最低,为230MPa,硬度大于950HV.
关键词:
微模具
,
喷嘴
,
电沉积
,
Ni-W合金
,
UV-LIGA(紫外-光刻、电铸、复写技术)
,
低应力
,
耐磨性
王佩红
,
章文
,
田中克彦
,
戴旭涵
,
赵小林
功能材料
提出了一种新的方法可以使锆钛酸铅压电陶瓷PZT7具有形状记忆效应.用自制的sawyer-Tower电路测试得到PZT7方形样品发生极化反转对应的电场强度大约为130kV/cm.当施加对称的饱和极化电压370V时,PZT7/Si(109/146μm)悬臂梁端部的变形一电场曲线呈现典型的"蝴蝶"形状.在外电场为0时,悬臂梁端部的变形为0.如果施加不对称的极化电压,悬臂梁端部的变形--电场曲线发生明显的变化.不同的反向极化电压使悬臂梁端部产生不同的变形,而且,电压和变形是一一对应的.因此,在外电场为零时,PZT7/Si悬臂梁可以具有多个不同的稳定位置,表现出明显的形状记忆效应.实验表明,对于长度为15.5mm的PZT7/Si悬臂梁而言,当施加的反向极化电压从120V回到0时,悬臂梁端部产生的变形最大,为68.5μm.
关键词:
压电陶瓷
,
PZT7
,
形状记忆效应
,
悬臂梁
,
极化电压
王佩红
,
鲁李乐
,
戴旭涵
,
赵小林
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2008.01.038
采用微机电系统加工技术制作出一种结构新颖的微型电磁式振动能量采集器,它可以把周围环境中的振动能转换为电能.整个结构主要由圆形SmCo28永磁体、铜平面弹簧和双层线圈构成.采用Uv-LIGA技术和电镀技术制作铜平面弹簧和双层线圈,并与永磁体一起组装成试验样机,其体积大约为200mm3.Ansys有限元仿真结果表明共振结构的一阶固有频率为129.3Hz.对组装好的电磁式振动能量采集器试验样机的初步测试表明:在加速度为3g(g=9.8m/s2)的外界输入冲击下,负载两端的交流电压峰峰值为32.5mV.
关键词:
振动能量采集器
,
微机电系统
,
电磁式
,
铜平面弹簧
,
双层线圈
张颖
,
汪红
,
毛胜平
,
戴旭涵
,
丁桂甫
功能材料与器件学报
本文主要介绍了一种闭锁电热微开关的制备及性能测试.利用双层膜电热微驱动器,基于双悬臂梁的结构设计,实现开关的驱动和闭锁.采用MEMS表面徼加工技术完成所设计微开关器件的制备,并对其进行性能测试.结果表明,施加的脉冲电信号的最佳占空比为10％,并测得电阻丝能承受的最大功耗为90mW,单臂粱的翘曲高度为58 μm,所得结果能够满足设计的闭锁电热微开关的工作需要.将本次设计的微开关连接到外接电路中,并施加时序双脉冲电信号,测得了外接电路的导通信号.
关键词:
电热驱动
,
机械锁定
,
MEMS微加工工艺
,
时序双脉冲电信号
汪红
,
丁桂甫
,
戴旭涵
,
苏宇锋
,
张永华
,
王志民
功能材料
研究了采用多种氯化物体系电沉积制备CoNiMnP永磁体薄膜及在微继电器、电磁驱动器永磁体阵列器件方面的应用.对薄膜组成、磁性能的对比研究表明:从稀氯化物体系(200mT)中获得的Co82.4Ni11.9Mn0.4P5.3永磁体薄膜具有最好的磁性能:Hc=208790A/m,Br=0.2T,(BH)max=10.15kJ/m3,且脆性小、内应力较低.进一步解析发现这可能是因为与易磁化轴相平行的Co(110)面上存在织构所致.在此基础上采用掩膜电沉积技术成功地制备出微继电器原位制造和电磁驱动器永磁体薄膜阵列.
关键词:
MEMS器件
,
CoNiMnP永磁体薄膜
,
磁性能
,
掩膜电沉积
