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场发射真空传感器

文尉任 , 王凌云 , 孙道恒

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2008.01.054

场发射真空传感器是采用MEMS加工工艺研制一种新型的基于硅尖阵列场发射原理的微型真空传感器.通过理论分析,确立了该种传感器中硅尖场发射电流与真空度的关系.并利用干法刻蚀工艺,在硅片上制作了高3.2μm,曲率半径小于70nm的200 ×42硅尖阵列.保持阳极与硅尖距离为1μm的情况下,可以观察到阳极电...

关键词: 硅尖阵列 , 场发射 , 真空传感器