材料期刊网

靶基距对SiC纤维表面钛合金涂层微结构和生长的影响

黄浩 , 文懋 , 陈大明 , 李臻熙 , 黄旭

航空材料学报 doi:10.3969/j.issn.1005-5053.2011.z1.030

在SiC纤维表面利用直流磁控溅射PVD(Physical Vapor Deposition)技术沉积钛合金是制备钛基复合材料的重要工艺过程.研究了直流磁控PVD技术在SiC纤维表面沉积钛合金工艺中,靶基距对涂层厚度分布,结构演变,薄膜生长的影响,并通过表面轮廓仪,XRD(X-Ray Diffract...

关键词: 靶基距 , PVD , 钛合金